接触式LED光刻机
关键词:光刻机,曝光机,一体机,迈时,光电,科技,有限公司
该接触式LED光刻机应用于科研院所,可以制作一次曝光微光学、编码器、LED封装等器件,可以直接放置于桌面上,操作简单,曝光精度可以达到1um。
产品型号:LEDM-PT100SA7020
产品特点及功能:
1、受温度变化,能量漂移≤2.5%,温度最多不超过60℃
2、产品稳定性超越同类产品,即便是有灯珠损坏也不影响曝光面上均匀性
3、保护措施:温度、异常讯息警告及显示等功能
4、维护方便:零件消耗品的更换周期以年计算,光学技术参数如辐照强度、均匀性的变化以年计算
运行条件:
运行环境
· 运行温度:16℃≤室内温度≤25℃
· 室内相对湿度,年平均值为50%
· 无尘环境要求为静态10000级以下
· 振动环境不超过国际标准ISO2372中规定的机器B级
替换硬件条件
· 提供电气接入信号
· 提供状态良好的曝光机台
· 提供1KW的AC220V/50HZ电源接口
· 风冷
产品构成:
· 机身材质采用铝材、钣金和不锈钢。
· 选用的电气材料符合国家电气安全设计标准。
· 产品主配件
序号 |
主件名称 |
数量 |
1 |
接触式LED光刻机 |
1 个 |
2 |
静音真空泵 |
1个 |
产品规格:
基本规格
序号 |
类别 |
参数 |
备注 |
1 |
光照面积 |
110mm×110mm |
|
2 |
光照均匀性 |
≥95% |
新机状态测量值=(max-min)/(Max+Min) |
3 |
中心波长 |
365nm |
|
4 |
强度 |
≥30mw/cm2 |
新机,OPHIR 365nm探头测量
280mw(LS128全波段表头) |
5 |
平行半角范围 |
2.5° |
小孔成像测量 |
6 |
能量稳定性 |
≤1% |
1小时内重复测量相同位置 |
7 |
工作距 |
68mm-120mm |
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8 |
光源模组保固期 |
1年 |
|
9 |
保固期内光强衰减 |
≤12% |
以新机出厂强度为基准 |
10 |
额定电功率 |
<250W |
220V单相电供电 |
11 |
真空接口 |
外径12内径8PU管 |
|
12 |
控制方式 |
电平模式 |
接收24V电压点亮,接受0V熄灭 |
备注:由于测量工具或仪器本身存在误差,以上参数测量值允许±5%的误差 |
老化规格
· 光照均匀性每个月老化≤0.2%
· 强度每个月老化≤1%