接触式LED光刻机

关键词:光刻机,曝光机,一体机,迈时,光电,科技,有限公司

日期:2018-03-15 11:23
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该接触式LED光刻机应用于科研院所,可以制作一次曝光微光学、编码器、LED封装等器件,可以直接放置于桌面上,操作简单,曝光精度可以达到1um。
  

产品型号:LEDM-PT100SA7020


产品特点及功能:
1、受温度变化,能量漂移≤2.5%,温度最多不超过60℃
2、产品稳定性超越同类产品,即便是有灯珠损坏也不影响曝光面上均匀性
3、保护措施:温度、异常讯息警告及显示等功能
4、维护方便:零件消耗品的更换周期以年计算,光学技术参数如辐照强度、均匀性的变化以年计算


运行条件:
运行环境
·  运行温度:16℃≤室内温度≤25℃
·  室内相对湿度,年平均值为50%
·  无尘环境要求为静态10000级以下
·  振动环境不超过国际标准ISO2372中规定的机器B级
替换硬件条件
·  提供电气接入信号
·  提供状态良好的曝光机台
·  提供1KW的AC220V/50HZ电源接口
·  风冷

产品构成:
·  机身材质采用铝材、钣金和不锈钢。
·  选用的电气材料符合国家电气安全设计标准。
·  产品主配件
序号 主件名称 数量
1 接触式LED光刻机 1 个
2 静音真空泵 1个
 
 
产品规格:
基本规格
序号 类别 参数 备注
1 光照面积 110mm×110mm  
2 光照均匀性 ≥95% 新机状态测量值=(max-min)/(Max+Min)
3 中心波长 365nm  
4 强度 ≥30mw/cm2 新机,OPHIR 365nm探头测量
280mw(LS128全波段表头)
5 平行半角范围 2.5° 小孔成像测量
6 能量稳定性 ≤1% 1小时内重复测量相同位置
7 工作距 68mm-120mm  
8 光源模组保固期 1年  
9 保固期内光强衰减 ≤12% 以新机出厂强度为基准
10 额定电功率 <250W 220V单相电供电
11 真空接口 外径12内径8PU管  
12 控制方式 电平模式 接收24V电压点亮,接受0V熄灭
备注:由于测量工具或仪器本身存在误差,以上参数测量值允许±5%的误差


老化规格
·  光照均匀性每个月老化≤0.2%
·  强度每个月老化≤1%