接触式LED光刻机
关键词：光刻机,曝光机,一体机,迈时,光电,科技,有限公司
该接触式LED光刻机应用于科研院所，可以制作一次曝光微光学、编码器、LED封装等器件，可以直接放置于桌面上，操作简单，曝光精度可以达到1um。
产品型号：LEDM-PT100SA7020
产品特点及功能：
1、受温度变化，能量漂移≤2.5%，温度最多不超过60℃
2、产品稳定性超越同类产品，即便是有灯珠损坏也不影响曝光面上均匀性
3、保护措施：温度、异常讯息警告及显示等功能
4、维护方便：零件消耗品的更换周期以年计算，光学技术参数如辐照强度、均匀性的变化以年计算
运行条件：
运行环境
· 运行温度：16℃≤室内温度≤25℃
· 室内相对湿度，年平均值为50%
· 无尘环境要求为静态10000级以下
· 振动环境不超过国际标准ISO2372中规定的机器B级
替换硬件条件
· 提供电气接入信号
· 提供状态良好的曝光机台
· 提供1KW的AC220V/50HZ电源接口
· 风冷
产品构成：
· 机身材质采用铝材、钣金和不锈钢。
· 选用的电气材料符合国家电气安全设计标准。
· 产品主配件
|
序号 |
主件名称 |
数量 |
|
1 |
接触式LED光刻机 |
1 个 |
|
2 |
静音真空泵 |
1个 |
产品规格：
基本规格
|
序号 |
类别 |
参数 |
备注 |
|
1 |
光照面积 |
110mm×110mm |
|
|
2 |
光照均匀性 |
≥95% |
新机状态测量值=(max-min)/（Max+Min） |
|
3 |
中心波长 |
365nm |
|
|
4 |
强度 |
≥30mw/cm2 |
新机，OPHIR 365nm探头测量
280mw（LS128全波段表头） |
|
5 |
平行半角范围 |
2.5° |
小孔成像测量 |
|
6 |
能量稳定性 |
≤1% |
1小时内重复测量相同位置 |
|
7 |
工作距 |
68mm-120mm |
|
|
8 |
光源模组保固期 |
1年 |
|
|
9 |
保固期内光强衰减 |
≤12% |
以新机出厂强度为基准 |
|
10 |
额定电功率 |
＜250W |
220V单相电供电 |
|
11 |
真空接口 |
外径12内径8PU管 |
|
|
12 |
控制方式 |
电平模式 |
接收24V电压点亮,接受0V熄灭 |
|
备注：由于测量工具或仪器本身存在误差，以上参数测量值允许±5%的误差 |
老化规格
· 光照均匀性每个月老化≤0.2%
· 强度每个月老化≤1%
