微光学技术基础

关键词:微光学

日期:2018-06-19 16:07
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微纳光学技术发展历程

    微光学是上世纪80年代发展起来的一门光学与微电子学及其他科学相互交叉的前沿学科,项目团队经过二十余年的研究,围绕信息和制造产业领域光学精密加工需求,开发了光学精密加工新工艺及装备,成功应用于萨克哈特曼波前传感器、LD光束整形、折衍混合光学系统等国家重大需求。
    一个多世纪以来的传统透镜及棱镜等光学元件:古典工艺。1890年蔡司公司开发了第一款光学镜头,拉开了光学工业的序幕,采用古典法制作透镜,延续了一百多年,目前已经广泛应用于光学作坊,制作尺度2mm以上数十厘米以下的镜片;20世纪80年代,美国林肯实验室在国防部支持下,提出二元光学的概念,利用集成电路逐层加工的方法,通过台阶结构近似透镜加工,打开了微光学元件领域研究的序幕;20世纪90年代,连续面形微透镜开始广泛研究,全球各个发达国家掀起微光学研究热潮,迈时团队与国际同步研发,采用热熔法、激光直写法等技术,实现连续面形微光学元件的制作,真正做到光学曲面面形
    2004年,迈时公司创始人杜春雷博士在中科院开发了移动掩模光刻技术及移动滤波光刻技术,突破了微光学元件面形控制的限制。在杜春雷博士所带领的微光学研究团队里,开发了移动掩模光刻技术及移动滤波光刻技术,获得国家及省部级奖项多项,标志着我国微纳光学技术已经走到世界最前列。
    2016年,迈时公司技术团队在中科院开发了跨尺度微光学元件模具成型技术, 和无机微光学元件批量化复制技术,为微纳光学产业化推广应用开创了新纪元。同时,团队采用微光刻工艺,研制了微透镜阵列、微棱镜阵列、衍射光学图形发生器、半导体激光快慢轴准直透镜等微光学器件。