产品介绍:
迈时光电研制出满足LEDDI直接成像光源的UVLED无掩膜光刻光源(S095A6k10-L25AD、S095A6k14-L25ABD),此类光源采用短波长的LED及混波技术以适应各种设备生产过程中的需求。在保证原机台高效快速,准确运行状态的同时,进一步提升设备稳定性,延长设备使用寿命,甚至达到降低设备成本的目的。
技术优势:
迈时光电基于微光学自由曲面精确配光及微透镜光束整形,发展了LED-DI(直接成像光源)光学系统方案,同时解决了核心元件自由曲面准直镜、复眼透镜、微光学透镜元件设计及制造问题。
基于微光学自由曲面精确配光及微透镜光束整形
产品应用:
适应各种设备生产过程中的需求
产品规格:
类别(参数)
|
产品型号 |
S095A6k10-L25AD |
S095A6k14-L25ABD |
光照面积(有效面积) |
22mm×22mm |
22mm×22mm |
平行半角 |
NA0.1 |
≤8.5° |
均匀性 |
≥94% |
≥92% |
中心波长 |
365+405nm |
365+385+405nm |
强度 |
≥6w |
≥12w |
工作距 |
185.5±3mm |
185.5±3mm |
工作模式 |
TTL/常亮 |
TTL/常亮 |
功率稳定性 |
≥98% |
≥98% |
光源保固期 |
1年 |
1年 |
保固期内光强衰减 |
≤30% |
≤30% |
额定电功率 |
<900W |
<700W |
水冷接口 |
2分快拧 |
2分快拧 |
冷水机匹配 |
制冷量≥1KW |
制冷量≥1KW |
外控信号 |
24V,0.1A |
24V,0.1A |
净重 |
9.5KG |
4.5KG |
备注:由于测量工具或仪器本身存在误差,以上参数测量值允许±5%的误差 |