LEDDI直接成像光源

关键词:光刻机,光源,led光源,迈时

日期:2018-10-29 09:32
我要分享

产品介绍:
迈时光电研制出满足LEDDI直接成像光源的UVLED无掩膜光刻光源(S095A6k10-L25AD、S095A6k14-L25ABD),此类光源采用短波长的LED及混波技术以适应各种设备生产过程中的需求。在保证原机台高效快速,准确运行状态的同时,进一步提升设备稳定性,延长设备使用寿命,甚至达到降低设备成本的目的。

技术优势:
迈时光电基于微光学自由曲面精确配光及微透镜光束整形,发展了LED-DI(直接成像光源)光学系统方案,同时解决了核心元件自由曲面准直镜、复眼透镜、微光学透镜元件设计及制造问题。
 
            基于微光学自由曲面精确配光及微透镜光束整形

产品应用:
适应各种设备生产过程中的需求

产品规格:
 
类别(参数)
     
产品型号
S095A6k10-L25AD S095A6k14-L25ABD
光照面积(有效面积) 22mm×22mm 22mm×22mm
平行半角 NA0.1 ≤8.5°
均匀性 ≥94% ≥92%
中心波长 365+405nm 365+385+405nm
强度 ≥6w ≥12w
工作距 185.5±3mm 185.5±3mm
工作模式 TTL/常亮 TTL/常亮
功率稳定性 ≥98% ≥98%
光源保固期 1年 1年
保固期内光强衰减 ≤30% ≤30%
额定电功率 <900W <700W
水冷接口 2分快拧 2分快拧
冷水机匹配 制冷量≥1KW 制冷量≥1KW
外控信号 24V,0.1A 24V,0.1A
净重 9.5KG 4.5KG
备注:由于测量工具或仪器本身存在误差,以上参数测量值允许±5%的误差