高均匀性光源

关键词:光刻机,光源,led光源,迈时

日期:2018-10-29 09:30
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产品介绍:
迈时团队研制出满足高均匀性光源的UVLED平行光光源(JD-LEDM-PM4HT-19A、JD-LEDM-PM6HT-19A),主要用在接触式、接近式光刻机上,适合于工厂测试和高校教学、科研等。我司采用UVLED作为发光光源,经过特殊设计的光学系统后,均匀准直地打在目标面上;相较于传统汞灯光源,功率大幅降低,节省能耗;同时拥有更长的使用寿命,更加环保;不存在红外线,避免菲林胀缩;也不存在汞灯炸灯风险,更加安全。该UVLED曝光机光源模组采用了失效安全设计,使得性能参数可长期维持稳定。

技术优势:
迈时光电采用自由曲面专利技术将LED阵列的光能高效地收集,且通过匀化系统和准直系统的配合,可将每颗LED发出的光均匀分布在同一片目标面上。其均匀性和平行半角均达到高精度曝光要求,且少量LED损坏只会导致光强整体微弱衰减,对均匀性毫无影响,可靠性很高。该方案的光路与现有的汞灯光路兼容性较好,在光源升级改造后可以不改变客户原有的操作习惯。
市场上基于阵列拼接方案的UVLED曝光机,每个LED负责一片照明区域,平行光接缝处拼接精度要求太高,单个灯珠失效或衰减,整机无法工作,可靠性较低

我们的方案:基于自由曲面透镜与复眼匀光,具有可靠性高,分辨率好,与广泛在用的汞灯光路兼容性好的优势

产品应用:
此UVLED平行光光源主要应用在接触式、接近式光刻机上,适合于工厂测试和高校教学、科研等

产品规格:
类别(参数) 光源型号
JD-LEDM-PM4HT-19A JD-LEDM-PM6HT-19A
光照面积(有效面积) 102mm×102mm 130mm×130mm
光照均匀性 ≥96% ≥94%
强度 ≥25mw/cm2 ≥20mw/cm2
平行半角范围 ≤2.5° ≤2.5°
能量稳定性 ≥98% ≥98%
工作距 68±5mm 68±5mm
保固期 3年 3年
保固期内光强衰减 ≤30% ≤30%
额定电功率 <150W <200W
控制方式 电平 电平
备注:
1、由于测量工具或仪器本身存在误差,以上参数测量值允许±5%的误差
2、基本规格参数为光阑最大(默认出厂)参数,光阑大小与强度和平行半角相关