产品介绍：
迈时光电研制出满足LEDDI直接成像光源的UVLED无掩膜光刻光源（S095A6k10-L25AD、S095A6k14-L25ABD），此类光源采用短波长的LED及混波技术以适应各种设备生产过程中的需求。在保证原机台高效快速，准确运行状态的同时，进一步提升设备稳定性，延长设备使用寿命，甚至达到降低设备成本的目的。
技术优势：
迈时光电基于微光学自由曲面精确配光及微透镜光束整形，发展了LED-DI（直接成像光源）光学系统方案，同时解决了核心元件自由曲面准直镜、复眼透镜、微光学透镜元件设计及制造问题。
基于微光学自由曲面精确配光及微透镜光束整形
产品应用：
适应各种设备生产过程中的需求
产品规格：
类别(参数)
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产品型号 |
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S095A6k10-L25AD |
S095A6k14-L25ABD |
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光照面积（有效面积） |
22mm×22mm |
22mm×22mm |
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平行半角 |
NA0.1 |
≤8.5° |
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均匀性 |
≥94% |
≥92% |
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中心波长 |
365+405nm |
365+385+405nm |
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强度 |
≥6w |
≥12w |
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工作距 |
185.5±3mm |
185.5±3mm |
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工作模式 |
TTL/常亮 |
TTL/常亮 |
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功率稳定性 |
≥98% |
≥98% |
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光源保固期 |
1年 |
1年 |
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保固期内光强衰减 |
≤30% |
≤30% |
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额定电功率 |
＜900W |
＜700W |
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水冷接口 |
2分快拧 |
2分快拧 |
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冷水机匹配 |
制冷量≥1KW |
制冷量≥1KW |
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外控信号 |
24V，0.1A |
24V，0.1A |
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净重 |
9.5KG |
4.5KG |
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备注：由于测量工具或仪器本身存在误差，以上参数测量值允许±5%的误差 |
