高强度光源

关键词:光刻机,光源,led光源,迈时

日期:2018-10-29 09:32
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产品介绍:
迈时光电研制出满足高强度光源的UVLED曝光丝印光源,主要配套于平行光曝光机,应用在3D玻璃盖板及平面盖板制程中纹路成形曝光环节。我司采用UVLED作为发光光源,采用了失效安全设计,使得性能参数可长期维持稳定。曝光光斑的均匀性非常高,不会因UVLED灯启动时间或熄灭时间不同而改变。出射光的平行半角非常小,可以曝光传统丝印以下更精细的线条。

技术优势:
  1. 单颗灯珠损坏不影响整体使用,可靠性好,分辨率高
  2. 大面积高均匀性
  3. 高功率密度
  4. 高准直度

               采用自由曲面微光学列阵器件实现配光

产品应用:
此UVLED曝光丝印光源主要配套于平行光曝光机,应用在3D玻璃盖板及平面盖板制程中纹路成形曝光环节

产品规格:
序号 类别 参数 备注
1 光照面积 180mm×180mm  
2 光照均匀性 ≥92% 新机状态测量值=2Min/(Max+Min)
3 中心波长 365nm+405nm  
4 强度 ≥90mw/cm2 新机,OPHIR 365nm探头测量
280mw(LS128全波段表头)
5 平行半角范围 2.5° 小孔成像测量
6 能量稳定性 ≤1% 1小时内重复测量相同位置
7 工作距 68mm-120mm  
8 光源模组保固期 1年  
9 保固期内光强衰减 ≤12% 以新机出厂强度为基准
10 额定电功率 <1KW 220V单相电供电
11 冷水机接口 4分外丝  
12 控制方式 电平模式 接收24V电压点亮,接受0V熄灭
备注:由于测量工具或仪器本身存在误差,以上参数测量值允许±5%的误差