产品介绍：
迈时团队研制出满足高均匀性光源的UVLED平行光光源（JD-LEDM-PM4HT-19A、JD-LEDM-PM6HT-19A）,主要用在接触式、接近式光刻机上，适合于工厂测试和高校教学、科研等。我司采用UVLED作为发光光源，经过特殊设计的光学系统后，均匀准直地打在目标面上；相较于传统汞灯光源，功率大幅降低，节省能耗；同时拥有更长的使用寿命，更加环保；不存在红外线，避免菲林胀缩；也不存在汞灯炸灯风险，更加安全。该UVLED曝光机光源模组采用了失效安全设计，使得性能参数可长期维持稳定。
技术优势：
迈时光电采用自由曲面专利技术将LED阵列的光能高效地收集，且通过匀化系统和准直系统的配合，可将每颗LED发出的光均匀分布在同一片目标面上。其均匀性和平行半角均达到高精度曝光要求，且少量LED损坏只会导致光强整体微弱衰减，对均匀性毫无影响，可靠性很高。该方案的光路与现有的汞灯光路兼容性较好，在光源升级改造后可以不改变客户原有的操作习惯。
市场上基于阵列拼接方案的UVLED曝光机，每个LED负责一片照明区域，平行光接缝处拼接精度要求太高，单个灯珠失效或衰减，整机无法工作，可靠性较低
我们的方案：基于自由曲面透镜与复眼匀光，具有可靠性高，分辨率好，与广泛在用的汞灯光路兼容性好的优势
产品应用：
此UVLED平行光光源主要应用在接触式、接近式光刻机上，适合于工厂测试和高校教学、科研等
产品规格：
|
类别(参数) |
光源型号 |
|
JD-LEDM-PM4HT-19A |
JD-LEDM-PM6HT-19A |
|
光照面积（有效面积） |
102mm×102mm |
130mm×130mm |
|
光照均匀性 |
≥96% |
≥94% |
|
强度 |
≥25mw/cm2 |
≥20mw/cm2 |
|
平行半角范围 |
≤2.5° |
≤2.5° |
|
能量稳定性 |
≥98% |
≥98% |
|
工作距 |
68±5mm |
68±5mm |
|
保固期 |
3年 |
3年 |
|
保固期内光强衰减 |
≤30% |
≤30% |
|
额定电功率 |
＜150W |
＜200W |
|
控制方式 |
电平 |
电平 |
备注：
1、由于测量工具或仪器本身存在误差，以上参数测量值允许±5%的误差
2、基本规格参数为光阑最大（默认出厂）参数，光阑大小与强度和平行半角相关 |
